Τμήμα Φυσικής

10ΕΚ204  Μικροηλεκτρονική

Ιστοσελίδα μαθήματος: https://eclass.uoa.gr/courses/PHYS239

Περίγραμμα μαθήματος

Περιεχόμενο μαθήματος

• Εξέλιξη και πεδίο εφαρμογών της μικροηλεκτρονικής στην υλοποίηση ολοκληρωμένων κυκλωμάτων πυριτίου και σύνθετων ημιαγωγών.
• Ημιαγωγικά υλικά (Si, GaAs).
• Ανάπτυξη κρυστάλλων Si και GaAs.
• Επιταξία. Λιθογραφία. Διάχυση. Εμφύτευση ιόντων και οξείδωση.
• Διεργασίες χάραξης (etching) και μέθοδοι εναπόθεσης υλικών (επιμετάλλωση).
• Δομή βασικών διατάξεων και φυσική σχεδίαση ολοκληρωμένων κυκλωμάτων: Δίοδοι p-n, διπολικό τρανζίστορ, τρανζίστορ MOSFET και CMOS, υλοποίηση λογικών πυλών.